執(zhí)行元件是能量變換元件，其目的是控制機械執(zhí)行機構(gòu)運動。機電一體化伺服系統(tǒng)要求執(zhí)行元件具有轉(zhuǎn)動慣量小，輸出動力大，便于控制，可靠性高和安裝維護(hù)簡便等特點。根據(jù)使用能量的不同，可以將執(zhí)行元件分為電磁式、液壓式和氣壓式等幾種類型。
dd馬達(dá)特點及優(yōu)點：
(1)不需要回原點：使用編碼器在不需要原點的情況下就可以確定當(dāng)前位置。
(2)高精度：每圈可以分為2個脈沖，20/24的脈沖，定位的精度可以小于等于/-30弧秒。
(3)高扭矩：有限體積內(nèi)高扭矩輸出，能以高轉(zhuǎn)速驅(qū)動大負(fù)荷。
(4)高剛性：徑向和軸向負(fù)荷能力大、靜負(fù)荷大的交叉軸承。
(5)不需要維護(hù)：不需要額外的電機維護(hù)工作，例如添加潤滑油。
(6)安裝容易：不需要使用減速機、滑輪、齒輪等中間配件，可直接裝載，減少了部件安裝調(diào)試的時間。
(7)低噪音：不需要中間連接器直接安裝負(fù)載，因此可減少使用過程中的大量噪音。
(8)快速響應(yīng)：直接安裝負(fù)載，不需要中間連接器，響應(yīng)速度快，可在較短的時間內(nèi)設(shè)定好的精度。

DD馬達(dá)特點：
1、間隙誤差被消除。
普通的電機由于有減速機、聯(lián)軸器、齒輪、皮帶或絲杠等中間傳動環(huán)節(jié)，就一定會存在間隙誤差，而且長時間使用會間隙誤差越來越大。DD馬達(dá)正因為沒有中間傳動部件，由于DD直接驅(qū)動的安裝方式，誤差被減為較少；而且它的伺服特性也可以隨時修正誤差，達(dá)到理想的控制精度。
2、高剛性，結(jié)構(gòu)緊湊，使用效率高。
DD馬達(dá)的剛性很強，與負(fù)載結(jié)合后特性很硬，對于其驅(qū)動器要求更高。新型的DD馬達(dá)驅(qū)動器可以提供在線增益調(diào)試和共振濾波。馬達(dá)中空特別設(shè)計不但減輕了自身慣量，也給客戶提供了更多的安裝形式。組合后的機械結(jié)構(gòu)會更加緊湊，使用效率比較其他方式高。

DD馬達(dá)適用于各種產(chǎn)業(yè)裝置機械，特別是半導(dǎo)體制造檢查裝置、液晶制造裝置，如:
1、應(yīng)用于高性能膠片、充電電池；
2、應(yīng)用于LED檢測系統(tǒng)；
3、手機面板貼膜機；
4、應(yīng)用于太陽能電池設(shè)備；
5、應(yīng)用于半導(dǎo)體IC測試機；
6、半導(dǎo)體劃片機；
7、應(yīng)用于LCD研磨機；
8、LCD行業(yè)彩色濾光片鍍膜機；
9、光媒體CVD/PVD濺射機；
10、科研大型天體望遠(yuǎn)鏡；
11、汽車行業(yè)轉(zhuǎn)向測試；
12、醫(yī)療行業(yè)血糖值試驗機；
13、伺服壓力機；
14、光媒體CVD/PVD濺射機。

執(zhí)行元件的種類及特點：
根據(jù)使用能量的不同，可以將執(zhí)行元件分為電磁式、液壓式和氣壓式等幾種類型。
電磁式是將電能變成電磁力，并用該電磁力驅(qū)動運行機構(gòu)運動。
液壓式是先將電能變換為液壓能并用電磁閥改變壓力油的流向，從而使液壓執(zhí)行元件驅(qū)動運行機構(gòu)運動。
氣壓式與液壓式的原理相同，只是將介質(zhì)由油改為氣體而已。其他執(zhí)行元件與使用材料有關(guān)，如使用雙金屬片、形狀記憶合金或壓電元件。
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